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產(chǎn)品功能

Map互動(dòng)功能：包括Raw Data, Gallery Map, Single Map, Compare Map, Stack Map, Dynamic DSA等。

缺陷數(shù)據(jù)分析管理：從數(shù)據(jù)獲取到可視化、互動(dòng)分析、追蹤和分類，強(qiáng)化整體缺陷管理。

DSA智能診斷：自動(dòng)化過(guò)程中的DSA(DefectSourceAnalysis)能智能診斷每個(gè)缺陷首次出現(xiàn)的工站。

缺陷分布圖與照片瀏覽：便于缺陷改善、人員瀏覽、比對(duì)，以確認(rèn)缺陷成因。

疊圖比較：通過(guò)疊圖前后層比較，快速找出重復(fù)或新增缺陷，縮短追蹤時(shí)間。

設(shè)備機(jī)構(gòu)分析：提供設(shè)備機(jī)構(gòu)圖案導(dǎo)入，支持CAD和自定義，幫助確認(rèn)機(jī)構(gòu)導(dǎo)致的缺陷成因。

產(chǎn)品特點(diǎn)

自動(dòng)化數(shù)據(jù)處理：實(shí)現(xiàn)缺陷數(shù)據(jù)的集成、整合和標(biāo)準(zhǔn)化。

豐富的分析功能：提高缺陷管理和改善效率。

互動(dòng)分析界面：提供缺陷晶圓圖、缺陷照片和分類統(tǒng)計(jì)量等互動(dòng)分析工具。

生產(chǎn)線支持：支持生產(chǎn)線的缺陷分布和外觀檢視，提供批量再分類功能。

產(chǎn)品效益

1、快速定位工站和設(shè)備造成的缺陷

2、大幅縮短缺陷追蹤時(shí)間

3、提供一體化的可視化，分析，追蹤和分類