方舟五號 / 光罩盒貨架

旨在精準定位光罩盒，實時顯示光罩盒信息和關聯(lián)wafer Lot信息。通過該系統(tǒng)，可以實時獲取光罩盒的狀態(tài)和位置信息，進行進出庫管理，節(jié)約大量時間查找光罩盒，避免操作錯誤。

聯(lián)系我們

主要用途及適用范圍

主要用途:

1.用于存放光罩盒，并實時監(jiān)控光罩盒狀態(tài)

2.實時顯示光罩盒關聯(lián)wafer Lot信息

適用范圍:適用于半導體晶圓廠實時追蹤光罩盒狀態(tài)

工作原理

光罩盒放入貨位后，觸發(fā)行程開關。芯享二號板檢測到開關觸發(fā)后，發(fā)送指令給建永模塊，啟動天線模組讀取光罩盒上的卡片式標簽。讀取到的標簽信息返回給芯享二號板，再次轉(zhuǎn)發(fā)到光罩盒管理系統(tǒng)。光罩盒管理系統(tǒng)可查詢每個貨位信息，進行光罩盒出庫操作。

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