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產(chǎn)品功能

壞品記錄與管控：自動(dòng)記錄前面工序中生產(chǎn)的損壞品在基板中的位置，控制機(jī)臺(tái)跳過(guò)特定的作業(yè)位置。

基板歷史追溯：基板作業(yè)歷史追溯，記錄每個(gè)站點(diǎn)的基板作業(yè)信息，基板作業(yè)前后Die的變化。

機(jī)臺(tái)參數(shù)比對(duì)：基板作業(yè)前，比對(duì)機(jī)臺(tái)作業(yè)參數(shù)，確保基板作業(yè)時(shí)機(jī)臺(tái)參數(shù)的正確性，提高產(chǎn)品質(zhì)量，節(jié)約成本。

MES聯(lián)動(dòng)確認(rèn)：與MES聯(lián)動(dòng)，在基板作業(yè)前確認(rèn)基板的批次信息，確認(rèn)機(jī)臺(tái)作業(yè)工站和機(jī)臺(tái)，防止跳工序作業(yè)。

數(shù)量卡控：實(shí)時(shí)統(tǒng)計(jì)基板上好品數(shù)量，管控生產(chǎn)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

精細(xì)管理：對(duì)作業(yè)基板管理，管理基板中每顆芯片作業(yè)的好壞，支持人為編輯，防止設(shè)備誤差導(dǎo)致的壞品流出，管控不良產(chǎn)品。

自動(dòng)管控：對(duì)作業(yè)數(shù)量的管控，實(shí)現(xiàn)在MES系統(tǒng)中自動(dòng)進(jìn)行TrackIn和TrackOut操作，節(jié)省人員作業(yè)時(shí)間。

單品追溯：對(duì)Strip和Wafer之間單顆產(chǎn)品的追溯。

產(chǎn)品效益

提高產(chǎn)品質(zhì)量

節(jié)約成本

合理高效管控生產(chǎn)